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从金属硅制备超纯硅的方法和装置的制作方法以上所述A工序中金属硅粉碎为细颗粒的粒径是5毫米左右。上述，B工序的通氧温度由常温650℃，并在650℃恒温1小时；上述，C工序所用的盐酸是浓盐酸，随着反应的进行，。

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