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制ITO粉设备

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磁控溅射镀膜设备及ITO玻璃的制备方法-玻璃工业网本发明涉及一种磁控溅射镀膜设备及ITO玻璃的制备方法。该磁控溅射镀膜设备包括依次相连的镀膜腔室、过渡室、过渡室、缓冲室和出口锁定室,所述过渡室、。

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Ito粉末及ito烧结体的制备方法名称:Ito粉末及ito烧结体的制备方法技术领域:本发明涉及金属氧化物,具体涉及ITO粉末及ITO烧结体的制备方法。背景技术:ITO(锡铟氧化物)的主要成分是氧化锡固。

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